لایب سان

This book introduces the exciting and fast-moving field of MOEMS to graduate students, scientists, and engineers by providing a foundation of both micro-optics and MEMS that will enable them to conduct future research in the field. Born from the relatively new fields of MEMS and micro-optics, MOEMS are proving to be an attractive and low-cost solution to a range of device problems requiring high optical functionality and high optical performance. MOEMS solutions include optical devices for telecommunication, sensing, and mobile systems such as v-grooves, gratings, shutters, scanners, filters, micromirrors, switches, alignment aids, lens arrays, and hermetic wafer-scale optical packaging. An international team of leading researchers contributed to this book, and it presents examples and problems employing cutting-edge MOEM devices. It will inspire researchers to further advance the design, fabrication, and analysis of MOEM systems.

Contents

- Foreword

- Preface

- Acknowledgments

- Introduction

- Microfabrication

- Micro-optics

- Actuation and Sensing

- Micro-optic components, testing, and applications

- Fiber Optic Systems

- Optical Scanners

- Display and Imaging Systems

- Adaptive Optics

- MEMS and MOEMS CAD and Simulation

- MEMS and MOEMS Packaging

- MEMS and MOEMS Materials

- Problems and Excercises

- Acronyms

- Index

چکیده فارسی

این کتاب زمینه هیجان انگیز و سریع MOEMS را با ارائه پایه ای از میکرواپتیک و MEMS به دانشجویان فارغ التحصیل، دانشمندان و مهندسان معرفی می کند که آنها را قادر می سازد تحقیقات آینده را در این زمینه انجام دهند. MOEMS که از حوزه‌های نسبتاً جدید MEMS و میکرو اپتیک متولد شده است، ثابت کرده است که راه حلی جذاب و کم‌هزینه برای طیف وسیعی از مشکلات دستگاه است که به عملکرد نوری بالا و عملکرد نوری بالا نیاز دارد. راه‌حل‌های MOEMS شامل دستگاه‌های نوری برای سیستم‌های مخابراتی، حسگر و متحرک مانند شیارهای v، گریتینگ‌ها، دریچه‌ها، اسکنرها، فیلترها، میکروآینه‌ها، سوئیچ‌ها، کمک‌های تراز، آرایه‌های لنز، و بسته‌بندی نوری در مقیاس ویفری هرمتیک می‌شود. یک تیم بین المللی از محققان برجسته در این کتاب مشارکت داشته اند و نمونه ها و مشکلاتی را در استفاده از دستگاه های پیشرفته MOEM ارائه می دهد. این الهام بخش محققان برای پیشرفت بیشتر در طراحی، ساخت و تجزیه و تحلیل سیستم‌های MOEM خواهد بود.

محتوا

- پیش گفتار

- پیشگفتار

- تشکر و قدردانی

- مقدمه

- میکروساخت

- میکرواپتیک

- فعال سازی و سنجش

- اجزاء، آزمایش و برنامه های میکرواپتیک

- سیستم های فیبر نوری

- اسکنرهای نوری

- سیستم‌های نمایش و تصویربرداری

- اپتیک تطبیقی

- MEMS و MOEMS CAD و شبیه سازی

- بسته بندی MEMS و MOEMS

- مواد MEMS و MOEMS

- مسائل و تمرینات

- کلمات اختصاری

- فهرست