لایب سان

Microfabricated resonators play an essential role in a variety of applications, including mass sensing, timing reference applications, and filtering applications. Many transduction mechanisms including piezoelectric, piezoresistive, and capacitive mechanisms, have been studied to induce and detect the motion of resonators. This book is meant to introduce and suggest several technological approaches together with design considerations for performance enhancement of capacitive silicon resonators, and will be useful for those working in field of micro and nanotechnology.

Features

• Introduces and suggests several technological approaches together with design considerations for performance enhancement of capacitive silicon resonators
• Provides information on the various fabrication technologies and design considerations that can be employed to improve the performance capacitive silicon resonator which is one of the promising options to replace the quartz crystal resonator.
• Discusses several technological approaches including hermetic packaging based on the LTCC substrate, deep reactive ion etching, neutral beam etching technology, and metal-assisted chemical etching, as well as design considerations for mechanically coupled, selective vibration of high-order mode, movable electrode structures, and piezoresistive heat engines were investigated to achieve small motional resistance, low insertion loss, and high quality factor.
• Focusses on a capacitive sensing method based on the measurement of the change in capacitance between a sensing electrode and the resonant body.
• Reviews  recent progress in performance enhancement methods for capacitive silicon resonator, which are mainly based on the works of the authors.

چکیده فارسی

رزوناتورهای میکروساخت نقش اساسی در کاربردهای مختلف، از جمله سنجش جرم، کاربردهای مرجع زمان‌بندی، و برنامه‌های فیلترینگ دارند. بسیاری از مکانیسم‌های انتقال از جمله مکانیسم‌های پیزوالکتریک، پیزومقاومتی و خازنی برای القا و تشخیص حرکت تشدید کننده‌ها مورد مطالعه قرار گرفته‌اند. این کتاب به منظور معرفی و پیشنهاد چندین رویکرد فناورانه همراه با ملاحظات طراحی برای بهبود عملکرد تشدیدگرهای سیلیکونی خازنی است و برای کسانی که در زمینه میکرو و نانوتکنولوژی کار می کنند مفید خواهد بود.

ویژگی ها

• رویکردهای تکنولوژیکی متعددی را همراه با ملاحظات طراحی برای بهبود عملکرد تشدید کننده های سیلیکونی خازنی معرفی و پیشنهاد می کند
• اطلاعاتی را در مورد فن آوری های مختلف ساخت و ملاحظات طراحی ارائه می دهد که می تواند برای بهبود عملکرد تشدید کننده سیلیکونی خازنی که یکی از گزینه های امیدوارکننده برای جایگزینی تشدید کننده کریستال کوارتز است، استفاده شود.
• درباره چندین رویکرد فناورانه از جمله بسته بندی هرمتیک بر اساس بستر LTCC، حکاکی یون واکنشی عمیق، فناوری حکاکی پرتو خنثی، و حکاکی شیمیایی به کمک فلز، و همچنین ملاحظات طراحی برای جفت مکانیکی و ارتعاش انتخابی حالت درجه بالا بحث می کند. ساختارهای الکترود متحرک و موتورهای حرارتی پیزومقاومتی برای دستیابی به مقاومت حرکتی کوچک، تلفات درج کم و ضریب کیفیت بالا مورد بررسی قرار گرفتند.
• روی روش سنجش خازنی بر اساس اندازه گیری تغییر در ظرفیت بین الکترود حسگر و بدنه تشدید تمرکز می کند.
• پیشرفت اخیر در روش‌های بهبود عملکرد برای تشدیدگر سیلیکونی خازنی را بررسی می‌کند، که عمدتاً بر اساس آثار نویسندگان است.